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ASML：我們有五個EUV光刻機(jī)客戶

發(fā)布時(shí)間：2023-03-22作者來源：光刻人的世界瀏覽：1868

韓國三星電子公司是總部位于荷蘭的 ASML Holding NV 的“苛刻客戶”，因?yàn)樗谠黾雍商m公司的極紫外 (EUV) 光刻系統(tǒng)的訂單，ASML 的高級執(zhí)行官表示。

這家全球[敏感詞]大內(nèi)存芯片制造商是該公司 EUV 光刻機(jī)的五個客戶之一，EUV 掃描儀是制造更小、更密集的半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵。ASML 是全球[敏感詞]的 EUV 光刻系統(tǒng)制造商。

“三星是一個要求很高的客戶，我們感謝他們的反饋，因?yàn)樗麄冏屛覀兂蔀橐患腋玫墓荆盇SML 的首席財(cái)務(wù)官 Roger Dassen 在最近的一次采訪中告訴韓國經(jīng)濟(jì)日報(bào)。

盡管利率上升、通貨膨脹和經(jīng)濟(jì)不景氣，但 ASML 今年開局良好，積壓訂單達(dá) 404 億歐元（430 億美元）。

今年，它計(jì)劃出貨約 60 個 EUV 系統(tǒng)。此前，它每年生產(chǎn)約 40 臺。生產(chǎn)一臺 EUV 掃描儀大約需要兩年時(shí)間，而每臺設(shè)備的成本為 1.5 億至 2 億美元。

EUV 掃描儀可以在半導(dǎo)體晶圓上繪制出最精細(xì)、最詳細(xì)的圖案。光刻機(jī)還通過減少創(chuàng)建精細(xì)電路所需的光刻工藝數(shù)量來簡化芯片制造工藝。

ASML 正在華城建設(shè)維修和再利用開發(fā)中心，以及一個大型培訓(xùn)中心，韓國，以更好地服務(wù)三星和SK海力士公司——全球[敏感詞]的兩家存儲芯片制造商。

這些設(shè)施將成為其韓國運(yùn)營商的總部。三星電子在該市經(jīng)營半導(dǎo)體工廠。

當(dāng)被問及將該工廠擴(kuò)展為制造基地的任何可能性時(shí)，Dassen說：“目前，我們沒有在韓國制造光刻系統(tǒng)的具體計(jì)劃。”

以下是與羅杰·達(dá)森 (Roger Dassen) 的問答經(jīng)過編輯的文字記錄：

您預(yù)計(jì) EUV 系統(tǒng)的競爭會持續(xù)多久？

“我們有五個 EUV 系統(tǒng)客戶......由于需求強(qiáng)勁，我們正在提高 EUV 系統(tǒng)的產(chǎn)能。”

“正如我們在今年 1 月的 2022 財(cái)年第四季度財(cái)務(wù)業(yè)績演示中宣布的那樣，我們計(jì)劃在 2023 年出貨約 60 個 EUV 系統(tǒng)（以及約 375 個 DUV 系統(tǒng)）。”

“在去年 11 月的投資者日期間，我們確認(rèn)了到 2025-2026 年 600 個 DUV（深紫外）、90 個 EUV 系統(tǒng)和到 2027-2028 年 20 個 EUV 高 NA 系統(tǒng)的產(chǎn)能計(jì)劃。

“因此，我們正在大幅擴(kuò)大產(chǎn)能以滿足需求。”

半導(dǎo)體制造設(shè)備市場的潛在威脅是什么？

“展望 2023 年，由于對通脹、利率上升、經(jīng)濟(jì)衰退和地緣政治環(huán)境（包括出口管制）的一系列全球宏觀擔(dān)憂，市場仍存在很多不確定性。”

“客戶仍然看到消費(fèi)者驅(qū)動的終端市場需求疲軟，最顯著的是 PC 和智能手機(jī)，數(shù)據(jù)中心需求的一些跡象顯示疲軟或增長率下降，而汽車和工業(yè)等其他終端市場的需求依然強(qiáng)勁。”

“但總的來說，對我們系統(tǒng)的需求仍然強(qiáng)勁。今年，需求仍然超過我們的產(chǎn)能，我們以 404 億歐元的積壓進(jìn)入了這一年，因此我們的重點(diǎn)仍將放在[敏感詞]化系統(tǒng)輸出上。”

“我們已經(jīng)經(jīng)歷了幾個季度非常強(qiáng)勁的預(yù)訂，現(xiàn)在積壓覆蓋范圍大大超過 2023 年，這幾乎是 2023 年預(yù)期系統(tǒng)銷售額的兩倍。”

計(jì)劃于 2024 年推出的高 NA（數(shù)值孔徑）EUV 系統(tǒng)的開發(fā)有何進(jìn)展？

“我們所有的 EUV 客戶都為 High-NA 下了訂單。我們正在與所有客戶密切合作，支持他們將新技術(shù)引入他們的晶圓廠。”

在韓國完成維修和再利用開發(fā)中心后，是否計(jì)劃在韓國建立制造工廠？

“目前，我們沒有在韓國制造光刻系統(tǒng)的具體計(jì)劃。”

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