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發布時間：2023-03-22作者來源：光刻人的世界瀏覽：1676
韓國三星電子公司是總部位于荷蘭的 ASML Holding NV 的“苛刻客戶”，因為它正在增加荷蘭公司的極紫外 (EUV) 光刻系統的訂單，ASML 的高級執行官表示。
這家全球[敏感詞]大內存芯片制造商是該公司 EUV 光刻機的五個客戶之一，EUV 掃描儀是制造更小、更密集的半導體芯片的關鍵。ASML 是全球[敏感詞]的 EUV 光刻系統制造商。
“三星是一個要求很高的客戶，我們感謝他們的反饋，因為他們讓我們成為一家更好的公司，”ASML 的首席財務官 Roger Dassen 在最近的一次采訪中告訴韓國經濟日報。
盡管利率上升、通貨膨脹和經濟不景氣，但 ASML 今年開局良好，積壓訂單達 404 億歐元（430 億美元）。
今年，它計劃出貨約 60 個 EUV 系統。此前，它每年生產約 40 臺。生產一臺 EUV 掃描儀大約需要兩年時間，而每臺設備的成本為 1.5 億至 2 億美元。
EUV 掃描儀可以在半導體晶圓上繪制出最精細、最詳細的圖案。光刻機還通過減少創建精細電路所需的光刻工藝數量來簡化芯片制造工藝。
ASML 正在華城建設維修和再利用開發中心，以及一個大型培訓中心，韓國，以更好地服務三星和SK海力士公司——全球[敏感詞]的兩家存儲芯片制造商。
這些設施將成為其韓國運營商的總部。三星電子在該市經營半導體工廠。
當被問及將該工廠擴展為制造基地的任何可能性時，Dassen說：“目前，我們沒有在韓國制造光刻系統的具體計劃。”
以下是與羅杰·達森 (Roger Dassen) 的問答經過編輯的文字記錄：
Q
您預計 EUV 系統的競爭會持續多久？
A
“我們有五個 EUV 系統客戶......由于需求強勁，我們正在提高 EUV 系統的產能。”
“正如我們在今年 1 月的 2022 財年第四季度財務業績演示中宣布的那樣，我們計劃在 2023 年出貨約 60 個 EUV 系統（以及約 375 個 DUV 系統）。”
“在去年 11 月的投資者日期間，我們確認了到 2025-2026 年 600 個 DUV（深紫外）、90 個 EUV 系統和到 2027-2028 年 20 個 EUV 高 NA 系統的產能計劃。
“因此，我們正在大幅擴大產能以滿足需求。”
Q
半導體制造設備市場的潛在威脅是什么？
A
“展望 2023 年，由于對通脹、利率上升、經濟衰退和地緣政治環境（包括出口管制）的一系列全球宏觀擔憂，市場仍存在很多不確定性。”
“客戶仍然看到消費者驅動的終端市場需求疲軟，最顯著的是 PC 和智能手機，數據中心需求的一些跡象顯示疲軟或增長率下降，而汽車和工業等其他終端市場的需求依然強勁。”
“但總的來說，對我們系統的需求仍然強勁。今年，需求仍然超過我們的產能，我們以 404 億歐元的積壓進入了這一年，因此我們的重點仍將放在[敏感詞]化系統輸出上。”
“我們已經經歷了幾個季度非常強勁的預訂，現在積壓覆蓋范圍大大超過 2023 年，這幾乎是 2023 年預期系統銷售額的兩倍。”
Q
計劃于 2024 年推出的高 NA（數值孔徑）EUV 系統的開發有何進展？
A
“我們所有的 EUV 客戶都為 High-NA 下了訂單。我們正在與所有客戶密切合作，支持他們將新技術引入他們的晶圓廠。”
Q
在韓國完成維修和再利用開發中心后，是否計劃在韓國建立制造工廠？
A
“目前，我們沒有在韓國制造光刻系統的具體計劃。”
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